在線分析儀器的準確度 (accuracy)又稱為精確度，簡稱精度，是指儀器的指示值與被測量真值的一致 程度。儀器的準確度用測量誤差來表示。測量誤差的表示方法有多種，目前分析儀器中常用 的幾種表示方法如下。

(1)絕對誤差 (absolute error)

絕對誤差=測量結果- (約定)真值

(2)相對誤差 (relative error)

相對誤差=絕對誤差/(約定)真值

在儀器樣本和說明書中，相對誤差一般用士%FS 表示，有時也用士%R 表示。 FS 是英 文 Full Scale的縮寫，±%FS 表示儀表滿量程相對誤差。

儀表滿量程相對誤差=[絕對誤差÷(測量上限一測量下限)]×100%

R 是英文Reading的縮寫，土%R 表示儀表示值相對誤差。

儀表讀數相對誤差=(絕對誤差÷儀表示值)×100%

±%FS 和土%R 在以前的標準中稱為引用誤差，新國標中稱為基準誤差，兩者的英文 名稱都是fiducial error。FS和 R 稱為引用值或基準值，英文名稱都是fiducial value。

(3)基本誤差 (intrinsic error)

新國標中稱為固有誤差，兩者英文名稱相同，只是譯法不同，是指儀器在參比工作條件 下使用時的誤差。所謂參比工作條件，是指對儀器的各種影響量、影響特性(必要時)所規 定的一組帶有允差的數值范圍。由于參比工作條件是比較嚴格的，所以這種誤差能夠更準確 地反映儀器所固有的性能，便于在相同條件下對同類儀器進行比較和校準。

(4)影響誤差 (influence error)

當一個影響量在其額定工作范圍內取任一值，而其他影響量處在參比工作條件時測定的 誤差。例如環境溫度影響誤差、電源電壓波動影響誤差等。新國標中將影響誤差稱為偏差 (variation)。

(5)干擾誤差 (interference error)

由存在于樣品中的干擾組分所引起的誤差。這是針對分析儀器提出的一個性能特性。

上述幾種誤差的關系是：基本誤差是表征儀器準確度的基本指標，產品樣本和說明書中 的絕對誤差、相對誤差(包括引用誤差)均應理解為基本誤差，而影響誤差、干擾誤差只有 在必要時才列出。